科智立半导体RFID读写器升级改造半导体生产设备：赋能精准识别

陕西一知名半导体企业携手健永科技，采用健永科技旗下工业RFID品牌的科智立KEZLIY半导体RFID读写器应用在改造升级半导体生产设备上，以精准识别晶圆身份为技术切入点，为半导体生产设备注入数字化新动能。

应用场景：半导体工作台上的晶圆身份精准识别

RFID读写器设备：科智立半导体RFID读写器JY-V640

RFID标签设备：科智立TI标签RI-TRP-DR2B-40

应用流程

RFID读写器部署：将半导体RFID读写器的主机安装在半导体工作台的台面下，RFID读写头（半导体RFID读写器天线读头）安装在工作台的台面。

RFID标签部署：在FOUP晶圆盒侧面嵌入TI标签，通过写卡设备写入唯一ID，并与晶圆盒内的晶圆批次、晶圆种类、晶圆尺寸等信息进行绑定关联。

当晶圆盒在不同工作台上流转时，台面上的半导体RFID读写头会读取进入识别范围内的晶圆盒TI标签，根据获取的晶圆信息判断前置工序是否完成，若完成则进行下一道工序加工，若出现遗漏则会发出警报并停止该产品的加工。同时，RFID读写器会记录下该晶圆盒在“何时何地何设备”进行加工，准确记录下经过每一节点工作台的晶圆信息，实现对晶圆的生产全流程的实时监控与后续的晶圆信息追溯。

应用效益

1. 通过RFID技术的精准信息采集，能够实现全自动化的晶圆生产流程追踪；

2. RFID读写器实时采集生产流程中的晶圆信息，为生产流程的优化提供了数据支持；

3. RFID读写器的非接触式、穿透性识别，能够快速精准地识别晶圆身份信息，提升产线的效率；

4. 无需打开晶圆盒即可快速获取晶圆的信息，降低晶圆被污染的风险。

设备配置

半导体RFID读写器JY-V640

JY-V640符合SEMI标准，是专门面向光伏、半导体制造业开发的RFID系统。支持134.2kHz工作频率，采用HDX数据传输模式，支持SECS协议与Modbus RTU协议，读写一体。可识读TI公司产的CID载体（RI-TRP-DR2B、RI-TRP-WR2B、RI-TRP-IR2B、RI-TRP-RR2B）。

TI标签RI-TRP-DR2B-40

RI-TRP-DR2B-40是半导体行业专用的TI标签，134.2kHz工作频率，符合ISO11784/5全球开放式标准，采用HDX专利技术，具有稳定的读写性能，几乎不受任何非金属材料的影响。